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近日，创源InnoSpring参与投资的青鼎装备联合合作伙伴成功申报深圳市科技创新委员会2022年度深圳市技术攻关——面向第三代半导体SiC材料的超声精密制造装备及工艺研发。深圳市科创委组织2022年技术攻关重点围绕新一代电子信息、高端制造装备等重点领域，对着力突破产业发展关键技术和关键零部件等的技术攻关项目予以资助。
本项目中，青鼎装备联合深圳市翔通光电技术有限公司以及清华大学深圳国际研究生院，三方共同研发面向第三代半导体SiC材料的精密加工设备。
青鼎装备是国内超声精密加工核心装备领域专业化公司，致力于超声精密加工装备核心零部件及控制系统的研发，可为超声整机设备提供基础支撑。翔通专注于陶瓷雕铣机生产、研发制造、销售服务，是国内专业的先进陶瓷材料及设备制造商。清华大学深圳国际研究生院先进制造学部在超声精密加工技术领域有着近二十年的积累，在超声原理、工艺技术等方面有着深厚的沉淀。